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三氯氫硅

純度:99.95%

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基本信息:

 三氯氫硅 純度:99.95%

 中文名:三氯氫硅(純度:99.95%)

 中文同義詞 :硅氯仿、硅仿、三氯硅烷

 英文名:Trichlorosilane、Silicochloroform

 化學式:SiHCl3,為一種易流動的無色液體

 分子量:135.43

物理性質:

液體用玻璃瓶或金屬桶盛裝,容器要存放在室外陰涼干燥通風良好之處或在易燃液體專用庫內,要與氧化劑、堿類、酸類隔開,遠離火種、熱源,避光,庫溫不宜超過25℃??捎冒彼鉸?。

 

火災時可用二氧化碳、干石粉、干砂,禁止用水及泡沫。廢氣可用水或堿液吸收。

 

三氯硅烷有水分時腐蝕性極強??捎錳?、鎳、銅鎳合金、鎳鋼、低合金鋼,不能用鋁、鋁合金。

 

可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合體、氟橡膠、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。

急救措施

 

小鼠-吸入LC50:1.5~2mg/L

 

最高容許濃度:3mg/m3

 

皮膚接觸:立即脫去被污染的衣著,用流動清水徹底沖洗至少15分鐘,就醫。眼睛接觸:立即提起眼瞼,用流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘,就醫。

 

吸 入:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道暢通,如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸,就醫。

 

食 入:誤服者用清水漱口,給飲牛奶或蛋清,就醫。

 

防火防爆

 

在三氯氫硅生產的各個工序中,為防止火災、中毒,要嚴格執行各項消防安全制度,嚴格控制工藝指標,嚴格操作規程。加強對設備管道的維護保養,嚴防跑、冒、滴、漏。具體預防措施如下:

 

⒈火源管理。在生產中進行檢修時使用的工具應該是不產生火花的工具,嚴禁用鐵器敲打設備或管道,工作人員應穿棉制品工作服。生產和貯罐區禁止明火,生產中動火要嚴格執行有關安全管理制度。

 

⒉防止跑、冒、滴、漏。生產過程中產生的大都是易燃易爆有毒物質,生產設備、工藝管道和貯罐如果發生泄漏極易釀成火災、爆炸和中毒事故。因此,日常工作中要做好安全檢查,不留死角,設備要定期檢修,發現問題及時采取補救措施,修復存在跑、冒、滴、漏的部位。

 

⒊配置應急工具和消防設施。應該配備一定數量的防毒面具、自給式空氣呼吸器、手套、堵漏工具。應急隊的人員要經常進行演練,熟練掌握各種情況下的堵漏方法和處置措施。貯罐區常備干砂的量最好不少于一個貯罐的容積,廠內倉庫存放一定的水泥作應急之用。配備一定數量的手提式二氧化碳和干粉滅火器。

 

⒋生產工藝中的防火防泄漏措施。

 

⑴三氯氫硅的合成、除塵和精餾工段。HCl氣體緩沖罐與合成爐之間應設止回閥,防止合成爐的SiHCl3回到緩沖罐。應控制HCl氣體的流量,控制合成爐內的溫度。對設備管道要經常進行維護保養,防止三氯氫硅泄漏。在生產中要保持整個系統的密閉,用99.99%的氮氣進行?;?。

 

⑵三氯氫硅的儲存。三氯氫硅的沸點較低,需在低溫下儲存,三氯氫硅的貯罐設置低溫?;ぷ爸煤徒滴麓朧?。由于三氯氫硅有潛在的燃燒爆炸危險,所以它的貯罐應與生產裝置要有一定的防火間距,并且要設防火堤,降溫水的排放管道經過防火堤處要設閘閥。貯罐應設靜電接地裝置和避雷裝置。貯罐內的氣相要與氮氣系統相連進行?;?,貯罐的氣相與外部連通的平衡管(放空管)應與尾氣回收系統相連,不能直接排空,并應設止回閥和阻火器。貯罐區應設一個備用罐,緊急情況下應將泄漏的貯罐內的物料轉移至備用罐,防止大量泄漏。

 

泄漏處理

 

生產和儲存中如果發生三氯氫硅泄漏,應根據泄漏量的大小劃出一定的警戒范圍,禁止無關人員和車輛進入警戒區,切斷警戒區內的所有火源,迅速撤離泄漏污染區內的人員至安全地帶。如果是貯罐發生泄漏,又不能及時排除泄漏,就應該將發生泄漏的貯罐內的三氯氫硅用氮氣壓入備用罐內。如果是生產中的設備和管道發生泄漏,應立即停止生產,并迅速關閉有關閥門切斷物料輸送。泄漏地帶有水源時,應用干砂土圍成隔離帶,將泄漏的三氯氫硅與水隔離開來。搶險人員進入危險區域時應佩戴自給式呼吸器或防毒面具。應先查明泄漏部位的泄漏狀況。由于貯存三氯氫硅的容器為常壓容器,應針對不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施,切斷泄漏源,用砂土、水泥吸收殘留液。