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磷烷

純度:99.9997%

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基本信息:

 磷烷 純度:99.9997%

 中文名:磷烷

 中文別名:磷化氫

 英文名:phosphine

 英文別名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;

phosphorus hydride; Phosphorus trihydride

 CAS 注冊號:7803-51-2

 分子量:34.0

 分 子 式:PH3 

 分 子 量:34.04   

 毒 性:劇毒

 摩爾質量:146.05

 CAS 登錄號:2551-62-4 

 外觀與性狀:無色氣體,有蒜臭味

 性質:無色,劇毒,易燃燒氣體,帶有令人生厭的大蒜味。應用于多種化學反應中

物理性質:

注:磷烷在 3 7 5°C以上要發生分解 ,分解成 P和H 2 ,其反應:2PH 3→2P+ 3H2↑

 

磷烷的堿性比氨弱 ,但還原性較強,能使許多氧化劑還原,

 

如:KMnO 4 、I2 等溶液,這一特征是氧化法解毒的基礎。

 

用于縮合催化劑,聚合引發劑及制備磷的有機化合物。

在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大,是IC制造極為重要的原料。

 

其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。

一、泄漏應急處理

 

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并立即隔離450米,嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水。如有可能,將漏出氣用排風機送至空曠的地方或裝設適當噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。

 

二、防護措施

 

呼吸系統防護:正常工作情況下,佩帶過濾式防毒面具(全面罩)。高濃度環境中,必須佩戴空氣呼吸器或氧氣呼吸器。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴空氣呼吸器。

 

眼睛防護:戴化學安全防護眼鏡。

 

身體防護:穿面罩式膠布防毒衣。

 

手防護:戴橡膠手套。

 

其它:工作現場嚴禁吸煙、進食和飲水。工作畢,淋浴更衣。保持良好的衛生習慣。進入罐、限制性空間或其它高濃度區作業,須有人監護。

 

三、急救措施

 

吸入:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

 

滅火方法:消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上風處滅火。切斷氣源。若不能立即切斷氣源,則不允許熄滅正在燃燒的氣體。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑:霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳。